Abstract von Prof. Dr. Johannes Heitmann

Materialien für die Nanowelt – Dünnschichtoxide und eingebettete Nanokristalle für elektronische und optische Anwendungen

Dünnschichtoxide mit hoher Dielektrizitätskonstante, wie Al₂O₃, HfO₂ and ZrO₂, spielen eine wesentliche Rolle in der Halbleiterforschung und -technologie. Sie werden in nahezu allen Bauelementen der Mikroelektronik eingesetzt. Darüber hinaus finden sie Anwendung in unterschiedlichen Gebieten der Elektronik, Optoelektronik, Energiekonversion und -speicherung.

In diesem Vortrag berichten wir über unsere Bemühungen zur Herstellung und Optimierung solcher Schichten für unterschiedliche Anwendungen. Im Fokus stehen die Passiviereigenschaften der Oxide für die Si-Photovoltaik [1] und Nitridelektronik [2] als auch die Einbettung von Si- und Ge-Nanokristallen für elektronische [3] und optische [4] Anwendungen.

[1] Schmid, A.; Schröter, Ch.; Otto, R.; Schuster, M.; Klemm, V.; Rafaja, D.; Heitmann, J., Appl. Phys. Lett. 106, 053509 (2015)
[2] F. Kersten, A. Schmid, S. Bordihn, J. W. Müller, J. Heitmann, Energy Procedia, 38, p. 843, (2013)
[3] D. Lehninger, P. Seidel, M. Geyer, F. Schneider, V. Klemm, D. Rafaja, J. von Borany, J. Heitmann, Appl. Phys. Lett. 106, 023116 (2015)
[4] Hoffmann, R.; Beyer, J.; Klemm, V., Rafaja, D.; Johnson, B. C.; McCallum, J. C.; Heitmann, J.: Erbium-doped slot waveguides containing size-controlled silicon nanocrystals. J. Appl. Phys. 117, 163106 (2015)

Curriculum Vitae von Prof. Dr. Johannes Heitmann

* August16, 1973

Education:

• 12/2003 – PhD in Physics (“Size-controlled synthesis and characteriation of Si nanocrystals”), Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Halle, Department Prof. Gösele
• 12/1998 – Diploma in Physics (Diploma Thesis: “Threedimensional distribution of intercalated Ag in TiS₂”), University of Leipzig in cooperation with MARC, School of Physics Melbourne University, Australia

Research experience/positions:

• Since 10/2010 – Professor and Head of Institute of Applied Physics, Technical University Bergakademie Freiberg
• 05/09–09/10 – Senior Scientist NaMLab gGmbH, Dresden
• 01/04–04/09 – Senior Engineer for Material Development Infineon/Qimonda AG, Dresden, Germany
• 06/00–12/04 – Dissertation, Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Halle, Department Prof. Gösele
• 01/99–05/00 – Member of research staff, division of nuclear solid state physics, University of Leipzig

Research stay abroad:

• 06/97–12/97 – Micro Ananlytical Research Center (MARC), School of Physics, University of Melbourne, Australia