Extrem‐ultraviolettes Licht für Mikrochips

Die Rechenleistung oder Datenspeicherkapazität elektronischer Geräte verbessern – das geht mit nanostrukturierten Chips. Je kleiner die Schaltkreise, desto leistungsfähiger der Chip. Wie sich mit ultrakurzwelligem Licht nanometerkleine Strukturen erzeugen lassen, was dabei chemisch passiert und wie die Herstellung ökonomischer werden kann. Integrierte Schaltkreise – oder Mikrochips – vereinen elektrische Bauteile wie Transistoren, Dioden und Widerstände auf einem wenige Quadratmillimeter großen Halbleiterplättchen. Stetig optimiert und miniaturisiert ermöglichen sie immer leistungsfähigere Computer, schnellere Kommunikationssysteme und etlich...