Nanodruck mit Elektronenstrahlen

Nanomaterialien lassen sich direkt auf eine Oberfläche schreiben, indem Elektronen die Zersetzung von Vorstufen induzieren. Damit ist die Morphologie der Nanostrukturen kontrollierbar, und der Untergrund bleibt unbeschädigt. So entstehen etwa Spitzen für die Rasterkraftmikroskopie. Elektronenstrahlinduzierte Abscheidung (focused electron beam induced deposition, Febid) benötigt eine gasförmige Vorstufe (Precursor), die sich lokal durch den Elektronenstrahl in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) in ein oberflächengebundenes Material umwandeln lässt.1) Hierbei schreibt ein fokussierter Elektronenstrahl einzelne Pixel oder Linien auf eine Subs...